PicoCube压电陶瓷控制器(E-536)


在多达三轴内具有高动态和高分辨率

 

 

E-536图片1.png

§ 用于P-363PicoCube

§ 值功率3×100

§ 噪声特

§ 变体:高动态和高分辨率

§ 输出电压±250

 

 

两种变体中的PicoCube控制器

E-536PicoCube控制器具有三个超低噪声放大器通道,用于高压切变促动器。控制器特别设计用于满足超快速和高分辨率PicoCubeXY(Z)压电陶瓷扫描器的要求。E-536提供两种变体,用于-250+250伏的电压范围,允许在静态和动态应用中使用。E-536.3x具有最优性能,适用于特别动态的应用,可在仅10千赫兹的小信号带宽内输出200毫安的峰值电流。E-536.3xH型号变体的分辨率已经过优化,在高达50瓦的峰值功率时可实现PicoCube低于0.03纳米的位置分辨率。两种变体均可用于闭环和开环操作。

 

动态和最高分辨

环操作特别适用于响应时间短、分辨率特别高的应用。绝对值形式的位置反馈规格要么不重要,要么是通过外部传感器实现,如同原子力显微镜中的情况。P-363PicoCube实现0.05纳米或更佳的分辨率。

 

电容式传感器带来更高精度

E-536.3 C版本具有集成式传感器/伺服控制器,用于闭环操作。位置是通过配备电容式传感器的PicoCube纳米定位系统等来实现的,传感器可达到0.1纳米的分辨率。

 

计算机控制

选配的E-518接口模块可通过数字PC接口实现控制和位置控制。

 

应用领域

§ 扫描探针显微镜

§ 原子力显微镜

§ 扫描和筛选


 


E-536.3C / E-536.30

E-536.3CH / E-536.30H

 

功能

 

用于P-363PicoCube的功率放大器/伺服控制器

用于P-

363PicoCube的高分辨率功率放大器/伺服控制器

 

传感器*

E-536.3C / E-536.30

E-536.3CH / E-536.30H

控制器类型

带陷波滤波器的模拟量比例积分(P-I)算法

带陷波滤波器的模拟量比例积分(P-I)算法

传感器类型

电容式传感器

电容式传感器

传感器通道

3 / –

3 / –

传感器带宽

1.5千赫

1.5千赫

传感器监控器输出

0+10

0+10

 

放大器

E-536.3C / E-536.30

E-536.3CH / E-536.30H

输出电压

-250+250

-250+250

放大器通道

3

3

每个通道的平均输出功率

10瓦,由温度传感器限制

6瓦,由温度传感器限制

每个通道的峰值功率,<3毫秒

100

50

平均输出电流

30毫安

15毫安

每个通道的峰值电流,<3毫秒

200毫安

100毫安

带宽,小信号

10千赫

2千赫

带宽,大信号,100纳法时

0.2千赫

0.125千赫

纹波,噪声

0100千赫

0.8毫伏均方根

<5毫伏峰峰100纳法)

0.5毫伏均方根

<3毫伏峰峰100纳法)

电流限制

防短路

防短路

电压增益

50

50

输入阻抗

100千欧

100千欧

 

接口和操作**

E-536.3C / E-536.30

E-536.3CH / E-536.30H

压电陶瓷连接

LEMO EGG.0B.701.CJL.1173

LEMO EGG.0B.701.CJL.1173

传感器目标和探头插座

LEMO EPL.00.250.NTD

LEMO EPL.00.250.NTD

拟输入插座

SMB

SMB

传感器监控器插座

LEMO FGG.0B.306.CLAD56

LEMO FGG.0B.306.CLAD56

控制输入电压

无伺服:-5+5

带伺服:0+10

无伺服:-5+5

带伺服:0+10

直流偏移设置

10转电位计,0100%

10转电位计,0100%


 

其他

E-536.3C / E-536.30

E-536.3CH / E-536.30H

工作温度范

550摄氏度(40 摄氏度以上,功率下降)

550摄氏度(40 摄氏度以上,功率下降)

过热保护

温度传感器自动断开高压连接(最高为75

氏度)

温度传感器自动断开高压连接(最高为75

氏度)

质量

8.1千克/ 7.8千克(E-518块)

8.1千克/ 7.8千克(E-518块)

尺寸

450 毫米× 132 毫米× 296 毫米+手柄

450 毫米× 132 毫米× 296 毫米+手柄

工作电压

115伏交流/50-60兹或230伏交流/50-

60

115伏交流/50-60兹或230伏交流/50-

60

 *仅带电容传感器的E-536.3Cx

**通信接口:RS-232TCP/IPUSB(可选配E-518计算机接口模块)询问定制版本。


图纸/图片

1562653630243267.png

                                                                       E-536.3x:各种压电负载的操作限制,电容值的单位为微法

1562653660623052.png

                                                                  E-536.3xH:各种压电负载的操作限制,电容值的单位为微法

1562653688858016.png

                   由超高分辨率外部电容式传感器测量的位置显示带E-536.3xP-363的分辨率低于0.05纳米(开环)

订购信息

E-536.3C

PicoCube 压电式控制器,3个通道,电容传感器,

E-536.30

PicoCube 压电式控制器,3个通道,开

E-536.3CH

PicoCube 压电式控制器,3个通道,高分辨率,电容传感器

E-536.30H

PicoCube 压电式控制器,3个通道,高分辨率,开