高动态PIMag®线性平台(V-522 • V-524 • V-528)


带直接位置测量的音圈-直接驱动


V-522 • V-524 • V-528图片1.png

§ 快速描和定位

§ 行程5毫米,10毫米,20毫米

§ 扫描频率超10

§ 最大速度250毫米/

§ 交叉子轴承实现最高精度

 

参考级线性平台

采用磁力直接驱动器的线性定位平台在很大程度上省去了动力传动系统中的机械零件,驱动力直接作用于运动平台。联合精密轴承,实现了高运动精度和更长的使用寿命。该线性定位平台尤其适合扫描应用。

PIMag® 音圈

音圈驱动器由两个基本零件组成:永磁体和线圈,线圈位于磁场的气隙中。当电流流过线圈时,线圈在永磁体的磁场中移动。运动方向取决于极性。音圈驱动器具有低重量并且基于无摩擦驱动原理,因此特别适合在有限行程内要求高动态性和高速度的应用。这类驱动器还可提供高扫描频率和精密定位,因为它们不存在磁滞效应。

交叉滚子轴承

利用交叉滚柱轴承,滚珠轴承中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此,它们的刚度明显提高,需要的预载更小,这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱轴承的另一个特征是高导向精度和负载能力。力导向滚动体保持架防止线性导向蠕变。

采用增量编码器实现直接位置测量

非接触式光学编码器以极高的精度直接在运动平台上测量实际位置,因此非线性效应、机械作用或弹性形变不会对位置测量造成影响。

应用领域

业和科研。计量、光子学以及半导体或平板显示器制造中的精密扫描


 


V-522.1AA

V-522.1AB

V-524.1AA

V-524.1AB

V-528.1AA

V-528.1AB

单位

公差

动和定位






动轴

X





行程

5

10

20

毫米


集成传感器

光学,增量

光学,增量

光学,增量



传感器分辨率

10

10

10

纳米


最小位移

20

20

20

纳米

典型

单向重复精度

20

20

20

纳米


双向重复性

±120

±120

±120

纳米

典型

参考点开关重复性

<1

<1

<1

微米


螺距

±50

±50

±50

微弧度

最大

转角

±50

±50

±50

微弧度

最大

线度

0.5

0.5

0.5

微米

最大

平面度

0.5

0.5

0.5

微米

最大

速度

250

250

250

毫米/

最大

机械特性






Z负载能力

100

100

100

最大

动质量

131

137

150


总质量

460

500

580


驱动特性






驱动类型

音圈

音圈

音圈



标称力

4

3.8

2.9

标称

标称电流

1.3

1.3

1.3

标称

值电流

3

3

3

最大值(3秒)

力常数

3.4

2.9

2.3

/

典型

电机常数

1.3

1.1

0.85

/(√)

典型

线圈电阻

7.2

7.2

7.2

欧姆

典型

线圈电感

1.7

1.7

1.7

毫亨

典型

时间常数

0.32

0.32

0.32

毫秒


其他






外壳材料



电缆长度

2

2

2

±10 毫米

 

电缆出口

V-52x.1AA:

X向上的电缆出口V-52x.1AB:

Y向上的电缆出口

V-52x.1AA:

X向上的电缆出口V-52x.1AB:

Y向上的电缆出口

V-52x.1AA:

X向上的电缆出口V-52x.1AB:

Y向上的电缆出口



电压/传感器连接

Sub-D 15针(公)

Sub-D 15针(公)

Sub-D 15针(公)



使用寿命

20000

20000

20000

公里


工作温度范

1845

18 45

18 45

°C


工作期间相对湿度

2080

20 80

2080

%


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图纸和图片

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                                                                                                V-522.1AA,尺寸单位为毫米

 

1562139327870332.png

                                                                                                     V-522.1AB,尺寸单位为毫米

1562139363522255.png

                                                                                                                  V-524.1AA,尺寸单位为毫米

 

1562139402843710.png

                                                                                                       V-524.1AB,尺寸单位为毫米

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                                                                                                        V-528.1AA,尺寸单位为毫米

 

1562139468276871.png

                                                                                                         V-528.1AB,尺寸单位为毫米

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                                                                                                      V-522能可靠地执行20纳米的可重复步进。

 

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                            带两个V-528 PIMag®音圈线性平台的多轴配置。

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                                                                                       V-522V-524V-528 PIMag®音圈线性平台

订购信息

V-522.1AA

PIMag® 音圈-线性平台,直接驱动,速度250毫米/秒,采用增量编码器实现直接位置测量,5毫米行程,运动方向上的电缆出口

V-522.1AB

PIMag® 音圈-线性平台,直接驱动,速度250毫米/秒,采用增量编码器实现直接位置测量,5毫米行程,正交于运动方向的电缆出

V-524.1AA

PIMag® 音圈-线性平台,直接驱动,速度250毫米/秒,采用增量编码器实现直接位置测量,10毫米行程,运动方向上的电缆出口

V-524.1AB

PIMag® 音圈-线性平台,直接驱动,速度250毫米/秒,采用增量编码器实现直接位置测量,10毫米行程,正交于运动方向的电缆出

V-528.1AA

PIMag® 音圈-线性平台,直接驱动,速度250毫米/秒,采用增量编码器实现直接位置测量,20毫米行程,运动方向上的电缆出口

V-528.1AB

PIMag® 音圈-线性平台,直接驱动,速度250毫米/秒,采用增量编码器实现直接位置测量,20毫米行程,正交于运动方向的电缆出

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