亚纳米分辨率电容传感器(D-015 • D-050 • D-100)

电容传感器


亚纳米分辨率位置传感器

 

D-015 • D-050 • D-100图片1.png

§ 用于要求最高精度的应用

§ 量程达1000 微米

§ 分辨率达0.01 纳米

§ 带数字式控制器,线性误差达0.01 %

§ E-509.CxA控制电控,与E- 500压电控制器系统兼容

 

 

分辨率

电容传感器可在更短距离内实现皮米级的分辨率。理论测量分辨率是无限的。实际上,散射辐射、几何效应和测量电控噪声会影响可实现的精度。结合E-509.C1A电控,D-100.00传感器的有效噪声因数(100微米)0.02纳米/Ö兹。例如,相当于100兹带宽时的分辨率为0.2纳米。电控的跳线可调带宽高达3千赫兹。

除了此处列出的标准传感器外,PI还针对测量、几何、材料、电控等提供定制版本。

 

应用领域

精密定位。


 

传感器

D-015.00

D-050.00

D-100.00

传感器类型

电容式

电容式

电容式

标称量程

15 微米

50 微米

100 微米

扩展量程

45 微米

150 微米

300 微米

分辨率*

量程的0.001 %

量程的0.001 %

量程的0.001 %

线性误差**

0.01 %

0.01 %

0.01 %

传感器有效面积

16.60 平方毫米

56.5 平方毫米

113.10 平方毫米

热漂移***

50 百万分之一/开氏度

50 百万分之一/开氏度

50 百万分之一/开氏度

 

其他

D-015.00

D-050.00

D-100.00

工作温度范

-2080 °C

-2080 °C

-2080 °C

材料

推荐评估电控

E-509.CxA

E-509.CxA

E-509.CxA

 

*3 千赫兹时,带E-509.C3A

**带数字控制器;带E-509拟控制器时达0.05 %

***有效表面尺寸的变化,单位为百万分之一,适用于量程询问客制化材料。


图纸/图片

 

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                                                                                 D-015.00, 尺寸单位为毫米

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                                                                                                      D-050.00, 尺寸单位为毫米

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                                                                                                  D-100.00, 尺寸单位为毫米

 

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压电陶瓷纳米定位系统以0.3纳米步进运动,通过PI电容传感器(下曲线)和高精度激光干涉仪(型号为Zygo ZMI 2000,上曲线)测量。电容传感器表现出比干涉仪明显高得多的分辨率。